Low power MEMS heating membrane

SVATOŠ, V.; MÁRIK, M.; PEKÁREK, J.; HRDÝ, R.; CHOMOUCKÁ, J.; HUBÁLEK, J., 2012: Low power MEMS heating membrane. , p. 257 - 4; FULL TEXT

Research Groups:

• Smart Nanodevices - Vojtěch Adam

CEITEC authors:

• Radim Hrdý, Ph.D.
• Jana Pekárková, Ph.D.
• Jaromír Hubálek, Ph.D.